粗糙度轮廓测量一体机技术优势
1、一次测量,实现粗糙度、波纹度、轮廓分析。
2、实现全范围内的粗糙度、波纹度测量。
3、X向采用新型数字式传感器,精度更高,Z1采用自主研发高精度多段式电感传感器。
4、多段式高精度传感器具有超大量程,最大限度保持了传感器的原有精度。
5、采用高刚性高精度免维护直线运动导轨,精密控制系统。
6、采用高速并行数据采集单元,硬件触发、硬件高速采样,无延时;足够密集及稳定的数据源为后期数据处理、计算提供最有力的保障。
7、宽范围粗糙度、精密轮廓测量的复合机型。
8、粗糙度、轮廓共用传感器,测量功能切换仅需更换测针即可。
粗糙度轮廓测量一体机具有传统的粗糙测量仪和轮廓仪完整的测量功能
轮廓测量:各种类型工件表面的线要素,点要素、点与点的距离、线与线的距离、各要素的位置度包括距离、平行度、垂直度、角度、槽深、槽宽、半径,可进行直线度分析、凸度分析。
轮廓分析:Pa、Pt、Pp、Pv、Pz、Pq、Psm、Psk、Pku、Pmr
粗糙度测量:Ra、Rp、Rv、Rz、Rz(jis)、R3z、RzDIN、Rzj、Rmax、Rc、Rt、Rq、Rsk、Rku、Rsm、Rs、R△q、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、Rmr
波纹度参数:Wa、Wt、Wp、Wv、Wz、Wq、Wsm、Wsk、Wku、Wmr
SPR2000型粗糙轮廓一体机参数
测量范围 | 项目 | 测量范围 | 分辨率 |
驱动率 | 150mm | 0.2um | |
轮廓传感器 | 15mm | 0.45um | |
粗糙度传感器 | ±420um | 65536:1 | |
立柱 | 420mm | ---- | |
轮廓仪部分技术参数 | 线性精度1 | ±(1.5+0.2H)μm | |
圆弧2 | ±(2+R/8)μm | ||
角度3 | ±2′ | ||
直线度4 | 0.8μm/100mm | ||
粗糙度部分技术参数 | 线性精度 | ±4% | |
残值噪声 | ≤0.02μm | ||
重复性 | 1δ≤2nm | ||
截止波长 | 0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8 | ||
评定长度 | λcX2、3、4、5、6、7 | ||
运动控制 | X轴驱动方式 | 电动 | |
Z轴驱动方式 | 电动 | ||
X轴驱动速度 | 0.1~10mm/s | ||
Z轴驱动速度 | 0.5-10mm/s |